檢索結果：共5筆資料 檢索策略： "Kuang-Hua Fuh".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="原子力顯微鏡"
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本文創新提出假設不同軸向比下壓能的值約為相同之定值的概念，依據不同軸向的比下壓能理論模式,以及已知奈米級加工深度及刀具形狀,推導出估算奈米級加工單晶矽工件V型溝槽的下壓力及切削力的理論公式。本文先進…
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本研究以二體勢能函數建立一套接觸式原子力顯微鏡梯形樑定力模式之模擬奈米級量測模型。模擬方法為當探針Tip經過試片表面，利用Morse勢能計算出試片原子對探針Tip原子之受力，經由計算得出對探針懸臂之…
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本文前半部分為整合直線段及1/4圓弧曲線加工的微奈米流道，故本文提出加工直線段連結1/4圓弧之奈米流道梯型凹槽到預定寬度及預定深度的模擬模式及公式。本文先利用比下壓能公式及兩道次偏移加工法，進一步推…
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摘要 本研究先以下壓力對未浸泡研磨液的單晶矽基板進行原子力顯微鏡(AFM)加工，得出單晶矽基板未浸泡研磨液的比下壓能值。然後再利用較小的下壓力對浸泡室溫研磨液之單晶矽進行AFM加工實驗，以比下壓能理…
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本文先建立用偏移循環加工法及推導出加工奈米流道梯型凹槽到預定深度與寬度所需的預估偏移加工的加工道次及底部凸起的公式，並建立加工梯型凹槽到預定深度及寬度的方法。由於切削的深度會直接影響切削寬度…